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【特長】●非回転構造ニードルバルブを採用により超精密な流体制御が可能です。【用途】●環境計測機器に。●一般分析機器に。●パージ装置に。●半導体関連機器に。【仕様】●最大流量(L/min):5.0【備考】●対象流体:空気●精度:±2%F.S(計測ポイント)●有効目盛:10:1●接続サイズ:Rc1/4●耐圧保証:最大流量5L/min以下 0.7MPa最大流量10L/min以上 0.5MPa●耐熱温度:60℃●耐温度:60℃●流体:空気●供給圧力:0.1MPa●ブロック材質:SUS316●パッキン材質:パイトン【材質/仕上】●本体:ステンレス(SUS316)●パッキン:フッ素ゴム【生産国】日本【質量】403G【ブランド】コフロック【メーカー】コフロック(株)
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【特長】
●非回転構造ニードルバルブを採用により超精密な流体制御が可能です。
【用途】
●環境計測機器に。
●一般分析機器に。
●パージ装置に。
●半導体関連機器に。
【仕様】
●最大流量(L/min):5.0
【備考】
●対象流体:空気
●精度:±2%F.S(計測ポイント)
●有効目盛:10:1
●接続サイズ:Rc1/4
●耐圧保証:最大流量5L/min以下 0.7MPa最大流量10L/min以上 0.5MPa
●耐熱温度:60℃
●耐温度:60℃
●流体:空気
●供給圧力:0.1MPa
●ブロック材質:SUS316
●パッキン材質:パイトン
【材質/仕上】
●本体:ステンレス(SUS316)
●パッキン:フッ素ゴム
【生産国】日本
【質量】403G
【ブランド】コフロック
【メーカー】コフロック(株)